贺碳方程又获一个专利，技术创新再升级

发布时间：2024-12-20 09:01:17 | 浏览量： 51次

近日，碳方程半导体设备制造（山西）有限公司在技术创新领域取得重要突破，一项名为 “一种 MPCVD 籽晶摆放装置” 的专利成功获得国家知识产权局授权。



该专利成果聚焦于 MPCVD 籽晶摆放这一关键环节，旨在解决传统籽晶摆放过程中效率低、精度差以及操作复杂等难题。其核心设计包括独特的支撑板结构，支撑板上部不仅设有可升降的样品台，还创新性地滑动连接了夹爪安装架。夹爪安装架上配备了固定夹爪和活动夹爪，以及专门的钼盘，并且增设了多种型号的籽晶定位盘。

在实际应用中，操作人员只需将籽晶放置在定位盘的单元格内，无需像以往那样进行繁琐的多次调整，即可轻松实现籽晶的精准定位。定位盘的多样化设计能够适配不同尺寸的籽晶，极大地拓宽了装置的适用性，无论是何种规格的籽晶，都能在该装置上实现快速、精确的摆放。这不仅保证了籽晶摆放的高质量，而且大幅节省了时间成本，显著降低了人工操作的难度。

此次新专利的获得，无疑是对碳方程公司在半导体设备制造技术研发道路上的一座重要里程碑，标志着公司在提升生产效率、优化产品质量以及降低生产成本等方面迈出了坚实的步伐，为推动半导体设备制造行业的技术进步贡献力量，也为公司未来的持续发展和技术创新奠定了坚实的基础。